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GasShield®扩散器

Mott Gasshield 气体扩散器可提供均匀的层流气流，最大限度地减少颗粒扰动。他们有效去除大于 0.0015 μm 的颗粒，提高晶圆质量，并提供超过 6,000,000 次循环的使用寿命，使其成为半导体制造的可靠选择。

MOTT产品 -GasShield®扩散器

描述
Mott GasShield®扩散器可快速将真空室排放到大气中，从而缩短循环时间并提高吞吐量。我们的不锈钢扩散器提供均匀和层流的气流，不会干扰腔室中的颗粒。这些扩散器还可以从进入的气体中去除大于0.0015µm的颗粒，从而最大限度地减少晶片上的缺陷。不锈钢扩散器可以承受更高的工作压力，并在300多万次循环中保持产品的完整性，这是业内寿命最长的。而且，为了获得优于不锈钢和镍的耐腐蚀性，请使用Mott GasShield®Hastelloy®C-22扩散器。

应用
MOTT扩散器用于半导体设备接口（CVD、PVD、蚀刻、Epi）或其他真空室的负载锁室、传输室、冷却室和工艺室的通风应用。

GasShield®扩散器

GasShield®扩散器的具体参数

颗粒去除尺寸	确认低至≥ 0.0015 µm
颗粒脱落数	根据SEMI F43-0308测试方法，背景以上的颗粒贡献为零（<1个颗粒/ft³）
最高工作温度	100°C（212°F），带o型圈；450°C（842°F），无o型圈
最大工作压力	50磅/平方英寸（3.4巴）-盘式扩散器；80磅/平方英寸（5.5巴）-管状扩散器
触液表面处理	10 Ra

GasShield®扩散器的具体型号

零件描述	零件编号PN
GSE-FLG-1.4-F1-NW40-316L	6894036
GSE-FLG-2.0-F1-NW50-316L	6894035
GSD-FLG-3.6-F1-NW100-0.5-316L	6894045
GSE-FLG-2.0-F1-NW50-C22	6894044
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW25	6894039
GSE-FLG-0.6-2.5-F1-NW40-316L	6894040

地址：上海市宝山区电台路568弄6号302室

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