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首页d5MOTT产品d5GasShield® 点使用过滤器
为了实现最大的气体过滤效率、可靠性和行业领先的流量一致性，GasShield® 使用点过滤器非常适合超高纯度 (UHP) 气体输送应用。 这些使用点过滤器有多种材料可供选择，并且与大多数高纯度电子级工艺气体兼容，确保最佳性能。
MOTT产品 - GasShield® 点使用过滤器  
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描述
MOTT高纯度气体过滤器可对低至0.0015µm的颗粒进行9-log级的过滤，从而产生无颗粒气体。为了获得最大的气体过滤效率、强度和可靠性，GasShield使用点气体过滤器是超高纯度气体输送应用的理想选择。它们与大多数高纯度电子级工艺气体兼容。

应用
超高纯度腐蚀性气体过滤在以下应用中：设备连接用气体棒、阀组箱、气柜、工具隔离气箱和车载OEM工具气箱。
GasShield® 点使用过滤器
GasShield® 点使用过滤器的具体参数
颗粒去除尺寸 ≥ 0.0015 µm
过滤效率（对数递减值） ≥9 LRV（颗粒减少99.9999999%）
根据SEMI F38-0699测试方法，确认最大穿透粒径为0.08µm
氦气泄漏等级 1 x 10-9atm-cc/sec
含水率 根据SEMI F27测试方法，在低流量环境吹扫1小时后<10 ppb
总碳氢化合物 低于ASTM F1398测试方法的可检测限值
颗粒脱落数 根据SEMI F43-0308测试方法，背景以上的颗粒贡献为零（<1个颗粒/ft³）
最高工作温度 450° C
GasShield® 点使用过滤器的具体型号
零件描述 零件编号PN 接口类型 壳体材质 过滤介质 表面光洁度
POU-05-FSV1 6700015 1/4" MVCR/MVCR 316L SS 316L SS 5 Ra
POU-05-HV1 6800040 1/4" MVCR/MVCR Hastelloy C-22 Hastelloy C-22 5 Ra
POU-05-ST1 6800059 1/4" MVCR/MVCR 316L SS 316L SS 5 Ra
POU-3-HV1 6800002 1/4" MVCR/MVCR Hastelloy C-22 Hastelloy C-22 5 Ra
POU-3-HV3 6800148 1/4" MVCR/MVCR Hastelloy C-22 Hastelloy C-22 5 Ra
POU-3-HSV1 6800045 1/4" MVCR/MVCR 316L SS Hastelloy C-22 5 Ra
POU-3-HSV3 6800180 1/4" MVCR/MVCR 316L SS Hastelloy C-22 5 Ra
POU-3-SV1 6800001 1/4" MVCR/MVCR 316L SS 316L SS 5 Ra
POU-3-SV3 6800079 1/4" MVCR/MVCR 316L SS 316L SS 5 Ra
 
 
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