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高纯气体流量限制器

Mott GSMR 系列表面贴装流量限制器支持 1.125 英寸高流量 C-Seal 配置气体系统。这些限制器在 100 级洁净室环境中组装和测试，并安装在基板和另一个双端口表面贴装组件之间。
MottVCR®配件气体流量限制器提供紧凑，持久的流量控制，可承受450°C的持续温度（惰性气体）和120 psig的压力。根据要求，莫特可以提供可承受最高1500 psig压力的限流器。
与往常一样，可根据要求提供定制材料、孔隙率和硬件配置。

MOTT产品 -高纯气体流量限制器

描述
无论您在流量控制方面的优先事项是什么，无论您是想要低成本、一致的性能还是抗堵塞性，都有一种替代方案可以满足所有要求：Mott高纯度多孔金属限流器，其特点是Mott多孔金属介质，专为半导体制造而开发。

应用
在流量条件保持相对恒定的情况下，以经济高效的方式替代质量流量控制器、针阀和其他流量控制装置。非常适合控制吹扫管线、腔室回填和分流。行业认可的危险气体管道限流装置，符合Semi S2和S6标准。

高纯气体流量限制器

高纯气体流量限制器的具体参数

可用流量范围	0.1 sccm 至40 slpm*
最大入口压力/最大压差	1500 psig
准确度	+/-7.5%基准**
重复性	+/-读数的0.1%
工作温度	高达450°C
预热时间	不适用
潮湿的硬件	316L SS
湿润表面处理	10 Ra（平均值）
泄漏完整性（外部）	1 x 10-9atm-cc/sec氦气泄漏额定值
接口（兼容）	1/4” Face Seal / IGS 1.125” C-Seal

高纯气体流量限制器的具体型号

零件描述	接口类型
5140-1/4-SS-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-CLS100	1/4” (6.35 mm) VCR
5140-1/2-SS-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-CLS100	1/2” (12.70 mm) VCR
GSMR-20-1-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-2 PORT-PORT LOCATION-CLS100	C-Seal 表面安装2端口连接
GSMR-20-1-GASFLOW-INLET PRESS/OUTLET PRESS-3 PORT-PORT LOCATION-CLS100	C-Seal 表面安装3端口连接

地址：上海市宝山区电台路568弄6号302室

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工作时间：09:00—17：30

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