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GasShield®表面贴装过滤器

Mott 高纯度散装和实用过滤器可过滤小至 9 μm 的颗粒，确保气体无颗粒。这些超高纯度过滤器非常适合处理加热、干燥操作期间净化器下游经常遇到的较高温度。我们的散装气体过滤器和外壳经过精心设计，可在苛刻的应用中提供最佳性能和可靠性。

描述
Mott GasShield®表面贴装过滤器为车载半导体OEM工具使用的集成气体系统提供业界领先的0.0015µm过滤。Mott GasShield®产品符合SEMI F86-0304规范，适用于具有C密封配置的1.125英寸四紧固件表面安装气体分配系统的双端口组件尺寸。

应用
适用于1.125英寸C型密封表面安装模块化气体输送系统。与所有惰性气体和大多数特种气体兼容。

颗粒去除尺寸	≥ 0.0015 µm
过滤效率（对数递减值）	≥9 LRV（颗粒减少99.9999999%）根据SEMI F38-0699测试方法，确认最大穿透粒径为0.08µm
氦气泄漏等级	1 x 10-9atm-cc/sec
含水率	根据SEMI F27测试方法，在低流量环境吹扫1小时后<10 ppb
总碳氢化合物	低于ASTM F1398测试方法的可检测限值
颗粒脱落数	根据SEMI F43-0308测试方法，背景以上的颗粒贡献为零（<1个颗粒/ft³）
最高工作温度	450° C
接液硬件表面光洁度	5 Ra

零件描述	零件编号PN	接口类型	额定流量(SLPM)	壳体材质	过滤介质	表面光洁度
GSMM-75-010-14	6813175	C-Seal	10	316L SS	Penta Nickel	5 Ra
GSMM-75-030-14	6813176	C-Seal	30	316L SS	Penta Nickel	5 Ra
GSMM-75-050-14	6813177	C-Seal	50	316L SS	Penta Nickel	5 Ra
GSMM-75-020-12	6813032	C-Seal	20	316L SS	Nickel	5 Ra
GSMM-75-030-12	6813042	C-Seal	30	316L SS	Nickel	5 Ra
GSMM-75-050-12	6813053	C-Seal	50	316L SS	Nickel	5 Ra
GSMM-75-010-33	6813056	C-Seal	10	Hastelloy® C-22®	Hastelloy® C-22®	5 Ra
GSMM-75-030-33	6813057	C-Seal	30	Hastelloy® C-22®	Hastelloy® C-22®	5 Ra

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