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首页d5MOTT产品d5GasShield® Defender过滤器
为了实现最大的气体过滤效率、可靠性和行业领先的流量一致性，GasShield® Defender过滤器非常适合超高纯度 (UHP) 气体输送应用。 这些使用点过滤器有多种材料可供选择，并且与大多数高纯度电子级工艺气体兼容，确保最佳性能。
MOTT产品 -GasShield® Defender过滤器  
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描述
MOTT GasShield®Defender是一系列超高纯度气体过滤器，采用莫特独有的全纤维金属介质。Defender满足超高纯度气体输送应用的需求，其9 LRV（对数减少值）的颗粒低至0.0015µm。

应用
用于半导体、LED、光伏和MEMS设备连接的超高纯度气体棒。阀组箱、气柜、工具隔离气箱、车载气体输送箱或任何需要超高纯度颗粒去除的工艺中的超高纯度过滤。
GasShield® 点使用过滤器
GasShield® 点使用过滤器的具体参数
颗粒去除尺寸 ≥ 0.0015 µm
过滤效率（对数递减值） ≥9 LRV（颗粒减少99.9999999%）
根据SEMI F38-0699测试方法，确认最大穿透粒径为0.08µm
氦气泄漏等级 1 x 10-9atm-cc/sec
含水率 根据SEMI F27测试方法，在低流量环境吹扫1小时后<10 ppb
总碳氢化合物 低于ASTM F1398测试方法的可检测限值
颗粒脱落数 根据SEMI F43-0308测试方法，背景以上的颗粒贡献为零（<1个颗粒/ft³）
最高工作温度 450° C
GasShield® 点使用过滤器的具体型号
零件描述 零件编号PN 接口类型 壳体材质 过滤介质 表面光洁度
DEF331FF11 6700001 1/4" MVCR/MVCR 316L SS 316L SS 10 Ra
DEF280FP11 6700010 1/4" MVCR/FVCR 316L SS 316L SS 10 Ra
DEF112TT11 6700007 1/4" 对接焊管短管 316L SS 316L SS 10 Ra
DEF315HFF33 6712201 1/4" MVCR/MVCR 316L SS 316L SS 5 Ra
DEF515HFF33 6712301 1/4" MVCR/MVCR 316L SS 316L SS 5 Ra
 
 
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