WASCO产品
WASCO产品系列
首页d5WASCO产品系列d5压力开关UC9系列
UC9 系列采用了 Wasco 专有的制造方法和 Elgiloy® 隔膜。它具有超高纯度和无与伦比的耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的完美开关，具有高精度和严格的公差。
压力开关UC9系列  

压力开关UC9系列
d2性能特点
  适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境
额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次
经过氦气泄漏测试
符合 SEMI F20标准
泄漏量≤1 x 10-9 std cc/sec
d2技术选型表
    型式 响应点范围 重置带宽 响应点误差 耐压 爆破压力
    UC9-A

20-200Torr 绝压

10Torr +6%响应点
（典型）

 ±5Torr +2%响应点
（典型）		 100Psig 最低1000Psig
    UC9-G 0.5-3.5Psig 表压 0.2Psig +6%响应点
（典型）		 ±0.1Psig +2%响应点
（典型）		 300Psig 最低1000Psig
d2UC9样式
1/4"VCR面密封
d2UC9应用范围
  气体箱
IGS 气体面板
气体分配系统
阀门歧管箱
蚀刻和沉积系统
d2UC9系列的一些型号
  UC9-VA1NOWC/16077
 
 
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