| UC8 系列采用了 Wasco 专有的制造方法和 Elgiloy® 隔膜。它具有超高纯度和无与伦比的耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的完美开关，具有高精度和严格的公差。 |
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| 压力开关UC8系列 |
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压力开关UC8系列 |
 性能特点 |
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适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境
额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次
经过氦气泄漏测试
符合 SEMI F1 标准
泄漏量≤1 x 10-9 std cc/sec |
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| 技术选型表 |
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型式 |
响应点范围 |
重置带宽 |
响应点误差 |
耐压 |
爆破压力 |
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UC8-A |
50-1500Torr 绝压 |
40Torr +6%响应点
（典型） |
±15Torr +6%响应点
（典型） |
100Psig |
最低1000Psig |
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UC8-G |
2-20Psig 表压 |
1.0Psig +6%响应点
（典型） |
1.0Psig +2%响应点
（典型） |
300Psig |
最低1000Psig |
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| UC8样式 |
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| 1/4"VCR面密封 |
1.125"C型密封面安装 |
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| UC8应用范围 |
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气体箱
IGS 气体面板
气体分配系统
阀门歧管箱
蚀刻和沉积系统 |
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| UC8系列的一些型号 |
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UC8-AA1NOD9/16046,16065
UC8-AA1DTWF/16042,16043,16048,15004, 16050, 16051, 16054,16017,16072,16073,16070
UC8-AC1DTWF/16040 ,16047,16049,16062,16063,16066
UC8-GA1DTWF/16041
UC8-GC1DTWF/16039
UC8-AA1NOWC/16061,16012 |
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