| 自 1989 年以来,行业领先的客户一直依赖 SV120 系列的可靠性和性能。该系列采用全不锈钢传感器和全焊接结构。SV120 系列采用了 Wasco 专有的制造方法,消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的完美开关,具有高精度和严格的公差。 |
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| 压力开关SV120系列 |
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压力开关SV120系列 |
性能特点 |
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为半导体设备等高纯度应用设计
不含任何弹性体或 O 形圈
符合SEMI F1 标准
氦气泄漏测试值均为≤ 1 x 10-9 std cc/sec |
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技术选型表 |
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传感器 |
最大系统压力 |
设置点范围 |
典型重置带宽 |
设置点误差 |
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3 |
30inHg |
1.6 - 25inHg |
1.0 - 4.6 inHg |
±1.2 inHg |
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5 |
30inHg |
6.0 - 29.5inHg |
1.4 - 7.6 inHg |
±4.0 inHg |
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SV120样式 |
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| KF25接头及9针接线 |
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| 1/4"VCR面密封及引线连接 |
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SV120应用范围 |
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气箱
臭氧系统
气体分配系统
半导体设备
医疗设备 |
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SV120系列的一些型号 |
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SV128-31W2A-X/6515, 6690,
SV129-31W2A/3309, 8428
SV129-31W2A-X/6693, 6782, 6530
SV129-31W2B-X/6277, 6795
SV128-31W2B/3337
SV129-31L2B-X/2840
SV129-31W2B/3338, 3394,3310
SV127-31W2B-X/6702
SV128-31W2A-X/6518
SV120-31W2B-X/1564, 1569
SV129-51L2B-X/2043
SV120-51L3B-X/2486, 2494 |
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