APTECH产品 APTECH Products
APTECH AZ系列
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 对应进口侧高压 最大24.1MPa HR规格(可选项):最大31MPa 流量范围 标准规格:<30slpm, HF规格(可选项):<120slpm 阀体材质:SUS316L 需抗腐蚀的场合,内部材质可选赫氏合金规格 膜片阀芯一体构造
高纯度用 一段式减压阀 (中流量)
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 对应进口侧高压的标准规格:最大15.9MPa、HR规格(可选项): 最大 20.7MPa 流量范围:<400slpm 阀体材质:SUS316L 内部材质标准规格为赫氏合金 对负压调整规格(可选项),下流侧为负压气体供给 膜片阀芯一体构造
高纯度用 一段式减压阀 (大流量)
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 对应进口侧高压的标准规格:最大11.7MPa、HR规格(可选项): 最大 20.7MPa 流量范围:标准<800slpm,HF(可选项)<1000slpm,FC(可选项)<1500slpm 阀体材质:SUS316L 内部材质标准规格为赫氏合金 膜片阀芯一体构造