APTECH产品 APTECH Products
APTECH AP系列
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 流量范围 标准规格:<15slpm, HF规格(可选项):<30slpm 阀体材质:SUS316L二次熔炼 需抗腐蚀的场合,内部材质可选赫氏合金规格 对负压调整规格,也适合低蒸气压气体的供给
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 对应进口侧高压 最大24.1MPa 流量范围 标准规格:<30slpm, HF规格(可选项):<120slpm 阀体材质:SUS316L二次熔炼 需抗腐蚀的场合,内部材质可选赫氏合金规格 膜片阀芯一体构造
高纯度用 一段式减压阀 (中流量)
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 对应进口侧高压的标准规格:最大15.9MPa、HR规格(可选项): 最大 20.7MPa 流量范围:<400slpm 阀体材质:SUS316L二次熔炼 内部材质标准规格为赫氏合金 对负压调整规格(可选项),下流侧为负压气体供给 膜片阀芯一体构造
高纯度用 一段式减压阀 (大流量)
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 对应进口侧高压的标准规格:最大11.7MPa、HR规格(可选项): 最大 20.7MPa 流量范围:标准<800slpm,HF(可选项)<1000slpm,FC(可选项)<1500slpm 阀体材质:SUS316L二次熔炼 内部材质标准规格为赫氏合金 膜片阀芯一体构造
高纯度用 二段式减压阀 (小流量)
高纯度用 二段式减压阀 (中流量)
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 对应进口侧高压 最大 24.1MPa 流量范围:<150slpm(NF3), <900slpm(H2), 阀体材质:SUS316L二次熔炼 需抗腐蚀的场合,内部材质可选赫氏合金规格 由于是二段式减压构造,将进口侧压力变动的影响抑制在最小限度 膜片阀芯一体构造
AP9000& AP9100系列
高纯度用 一段式减压阀 (小流量)
最适合高纯度工艺气体的供给气路上 进口侧压力范围 AP9000:最大11.7MPa, AP9100:最大5.5MPa, 流量范围:AP9000<2000slpm,AP9100<5000slpm 阀体材质:SUS316L 膜片阀芯一体构造